微机电系统工程是干什么的

微机电系统工程（Micro-Electro-MechanicalSystems，简称MEMS）是一种涉及电子、机械、材料、制造、信息以及生物等多个学科的交叉学科技术。它主要致力于设计、制造微型化的机械设备和系统。

微机电系统工程的主要任务是制造微小的机械设备和系统，包括微型传感器、微型执行器、微型能源系统、微型泵、微型阀等。这些设备和系统在许多领域都有广泛应用，例如汽车安全、环境监测、医疗健康、消费电子、航空航天等。

1.微型传感器：例如压力传感器、温度传感器、光传感器等，用于检测各种物理、化学、生物信号。

2.微型执行器：例如微型电机、微型泵、微型阀等，用于执行各种机械动作。

3.微型能源系统：例如微型电池、微型太阳能电池等，用于为微系统提供能源。

4.微型泵、微型阀：用于微型流体系统，如生物芯片、微流控芯片等。

5.微型电子设备：例如微型麦克风、微型扬声器等，用于消费电子产品。

拓展资料：

1.微机电系统工程的起源可以追溯到20世纪80年代，随着半导体技术的发展，人们开始尝试在硅片上制造微型机械设备。

2.微机电系统工程通常采用半导体工艺进行制造，例如光刻、刻蚀、扩散、离子注入等。

3.微机电系统工程的一个重要特点是“系统集成”，即将多种功能集成在一个微型设备或系统中。

4.微机电系统工程的另一个重要特点是“批量制造”，通过半导体工艺可以大批量、低成本地制造微型设备。

5.微机电系统工程的发展趋势是向更小的尺寸、更高的集成度、更多的功能、更广泛的应用领域发展。

微机电系统工程作为一种交叉学科技术，已经广泛应用于各个领域，并且在未来还有巨大的发展潜力。