什么是半导体设备

半导体设备是制造和测试电子芯片的关键工具，包括光刻机、刻蚀机和薄膜沉积设备。光刻机将电路图案转移到硅片上，精度达到纳米级别。刻蚀机移除不需要的材料，形成精确的电路结构。薄膜沉积设备在硅片上添加导电或绝缘层，厚度控制精确到原子级别。这些设备工作环境要求极高，温度波动必须控制在0.1摄氏度以内，空气中的尘埃颗粒数每立方米不能超过10个。

半导体设备需要高度精确的运动控制系统，定位精度可达0.001毫米。现代设备每天能处理数千片晶圆，每片晶圆包含数百个芯片。设备运行时产生的热量必须通过特殊冷却系统散发，这些系统每分钟能处理数百升冷却液。设备软件每天生成数百万个数据点，用于监控生产质量。先进设备的价格可达数千万美元，使用寿命约10年，期间需要定期维护和升级。