时间:09-18人气:17作者:幕后煮屎者
光刻机技术主要掌握在荷兰ASML公司手中,这家企业总部位于荷兰费尔德霍芬。ASML的EUV光刻机代表了全球最尖端水平,一台设备售价超过1亿欧元,包含超过10万个精密零件。美国、日本、德国等多国企业也参与供应链,但核心研发和组装在荷兰完成。中国上海微电子也在研发28纳米光刻机,但与ASML的5纳米技术仍有差距。
光刻机研发需要长期积累,荷兰ASML起步于1984年,经过近40年发展才达到当前高度。美国应用材料、日本东京电子提供部分设备,德国蔡司供应光学系统。中国购买EUV光刻机受到出口限制,迫使自主研发进程加速。韩国三星、台积电等芯片制造商高度依赖ASML设备,全球每年仅能生产约50台高端光刻机,供不应求。
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